1. 진공 챔버
진공 챔버는 진공 코팅 기계의 핵심 부분입니다. 주요 기능은 진공 환경을 만들고 코팅 공정을 진공 상태로 유지하는 것입니다. 진공 챔버는 일반적으로 스테인레스 스틸 또는 알루미늄 합금 재료로 만들어지며, 진공 밀봉 및 부식성이 높은 상태입니다.
2. 펌프 시스템
펌프 시스템은 진공 코팅 기계의 주요 구성 요소 중 하나입니다. 진공 챔버에서 가스를 추출하여 진공 정도에 필요한 정도에 도달하는 것은 주로 책임이 있습니다. 펌프 시스템은 일반적으로 분자 펌프, 기계식 펌프 및 확산 펌프로 구성됩니다. 다른 펌프 조합은 다른 진공도 및 펌핑 속도를 달성 할 수 있습니다.
3. 기판 클램핑 장치
기판 클램핑 장치는 진공 코팅 기계의 또 다른 중요한 구성 요소입니다. 기판 재료를 코팅 할 수있는 기판 재료를 고정하고 위치 및 이동 궤적을 제어하는 데 사용됩니다. 기판 클램핑 장치는 일반적으로 회전 테이블, 리프팅 메커니즘 및 기판 클램프로 구성됩니다. 다른 클램프는 다른 모양과 크기의 기질에 적응할 수 있습니다.
4. 가열 시스템
가열 시스템은 진공 코팅 기계에서 필요한 성분입니다. 기판 및 코팅 재료를 가열하여 코팅의 형성을 촉진하고 품질을 향상시킬 수 있습니다. 가열 시스템은 일반적으로 저항 와이어, 전자기 가열, 유도 가열 및 기타 방법으로 구현됩니다.
5. 코팅 소스
코팅 소스는 진공 코팅 기계의 마지막 구성 요소입니다. 일반적으로 금속, 도자기, 실리콘 및 기타 재료를 포함하여 코팅 해야하는 재료를 제공하는 데 사용됩니다. 코팅 공급원은 전자 빔, 증발, 스퍼터링 및 기타 방법에 의해 기판상의 재료를 퇴적하여 필요한 코팅을 형성 할 수있다.
요약 : 진공 코팅 기계는 진공 챔버, 펌프 시스템, 기판 클램핑 장치, 가열 시스템 및 코팅 소스가 주요 부품 인 고품질 코팅을 제조하는 데 사용되는 장치입니다. 이 구성 요소는 코팅 준비 과정을 완료하기 위해 함께 작동합니다.
