진공 코팅 장비가동 중 단수, 정전, 공기 누출 등 예상치 못한 상황이 자주 발생합니다. 이러한 상황에 직면하면 운영자는 당황하여 이를 어떻게 처리해야 할지 확신할 수 없습니다. 아래에서 Puyuan Vacuum은 진공 코팅 장비 운영에 대한 자세한 비상 계획을 제공합니다.
1. PVD 코팅 장비는 일정 기간 작동 후 청소가 필요합니다.
일반적으로 50~70회의 퍼니스 주기의 작동 기간 후에 PVD 코팅 장비는 퍼니스에서 먼지를 제거하기 위해 청소가 필요합니다. 그런 다음 부하 없이 퍼니스를 한 번 작동시킵니다. 절차에는 먼저 퍼니스를 10⁻² Pa보다 높은 진공 수준으로 비운 다음 일반적으로 정상 작동 온도보다 20도 높은 온도에서 가열하는 작업이 포함됩니다. 이 온도를 가능한 최고 수준으로 최소 1시간 동안 유지한 후 자연 냉각시키십시오. 이 공정을 통해 진공 코팅 장비의 내부 공간을 깨끗하게 유지합니다.
2. 가스 실린더 교체
진공 코팅 장비에 사용되는 가스 실린더를 교체해야 할 경우 압력 조절 밸브를 제거하고 새 실린더로 교체하십시오. 설치 시 누출이 없는지 확인하십시오. 실린더를 교체한 후 작업물을 가열하기 전에 배기 과정에서 퍼니스를 퍼지하여 실린더 교체 중에 파이프라인에 갇힌 공기를 제거하여 퍼징 파이프라인을 깨끗하게 유지해야 합니다.
3. 회전하는 부품에 소량의 윤활유를 바르십시오.
윤활을 위해 회전 부품에 소량의 진공 펌프 오일을 바르십시오. 진공 펌프가 깨끗하고 철, 모래, 먼지가 없는지 확인하십시오. 포지셔닝 시스템의 접촉이 양호한지 확인하십시오. 진공 펌프는 고르지 않거나 심한 막힘 없이 쉽게 회전해야 합니다.
4. 정상 작동 중 갑작스러운 공기 누출이 감지되었습니다.
정상 작동 중에 갑작스러운 공기 누출이 감지되고 누출 지점을 즉시 찾을 수 있는 경우 진공 밀봉재로 밀봉해야 합니다. 현재 작업이 완료된 후 추가 수리가 가능합니다. 누출 위치를 찾을 수 없는 경우 즉시 작업을 중단하고 수리를 수행해야 합니다.
5. 고온 시 단수 및 정전
진공 장비는 고온 시 단수 및 정전에 가장 취약합니다. 따라서 사용자는 백업 물 탱크를 설치하거나 장비 설치 중에 수돗물 공급 장치에 연결하는 것이 이상적입니다. 고온 중에 장비에 물이 공급되거나 정전이 발생하는 경우 모든 펌프와 밸브를 닫아야 합니다. 운영자는 즉시 백업 물 공급 장치나 수돗물을 연결하여 장비를 수냉-해야 합니다. 신속하게 전력을 복구할 수 없는 경우 팽창/수축 시스템의 수동 팽창 밸브를 열어 보호용 장비를 약 -0.02MPa의 팽창 압력으로 팽창시켜야 합니다. 그런 다음 제어 캐비닛의 모든 버튼을 "끄기" 위치로 돌립니다. 동시에 전극 리드아웃 인터페이스에 젖은 수건을 바르고 정기적으로 교체하여 전극 인터페이스의 과열과 밀봉 링의 손상을 방지합니다.
진공 코팅 장비를 다루는 엔지니어로서 비상 대응 계획을 숙지하는 것은 필수적입니다. 운영 중에는 예상치 못한 상황이 발생할 수 있으며, 불필요한 손실을 방지하려면 시기적절한 개입이 중요합니다.
