기계식 펌프는 가장 널리 사용되는 유형의 저-진공 펌프입니다. 그들은 밀봉을 유지하기 위해 오일을 사용하고 기계적 방법을 사용하여 펌프 내부 흡입 공간의 부피를 지속적으로 변경하여 진공 용기의 가스를 팽창시켜 진공을 생성합니다. 기계식 펌프의 종류에는 여러 가지가 있는데 가장 일반적인 것은 슬라이드 밸브형(대형 장비에 주로 사용), 피스톤 왕복형, 고정 날개형, 회전 날개형 등이다. 기계식 펌프는 건조한 공기를 배출하는 데 자주 사용되지만 과도한 산소 함량이 있는 가스, 폭발성 또는 부식성 가스를 배출할 수는 없습니다. 기계식 펌프는 일반적으로 영구가스를 배기하는데 사용되나, 수증기 배기에는 효과적이지 못하므로 수증기를 배기할 수는 없다. 회전 날개 펌프의 주요 구성 요소는 고정자, 회전자 및 스프링입니다. 회전자는 고정자 내부에 있지만 고정자와 동일한 축에 있지 않으며 두 개의 내접원과 유사합니다. 로터 슬롯에는 두 개의 스프링이 설치되어 있으며, 두 스프링 사이에 스프링이 설치되어 스프링이 고정자의 내벽에 단단히 부착되도록 합니다.
두 개의 베인은 입구를 통해 가스를 흡입하고 이미 흡입된 가스를 압축하여-펌프에서 배출하는 두 가지 기능을 교대로 수행합니다. 로터가 회전할 때마다 펌프는 두 번의 흡기 사이클과 두 번의 배기 사이클을 완료합니다. 펌프가 시계방향으로 계속 회전함에 따라 로터리 베인 펌프는 입구를 통해 지속적으로 가스를 흡입하고 출구를 통해 지속적으로 배출하여 용기를 비우는 목적을 달성합니다. 펌프의 최종 진공을 향상시키기 위해 고정자를 오일에 담급니다. 이를 통해 모든 틈과 위험 공간에 충분한 오일이 유지되어 완전히 채워집니다. 따라서 오일은 윤활유 역할과 밀봉제 역할을 하여 가스 분자가 저압 영역으로 역류하는 것을 방지합니다.-
기계식 펌프는 대기압에서 작동합니다. 주요 매개변수에는 기계식 펌프를 설계하고 선택하는 데 중요한 최종 진공 및 펌핑 속도가 포함됩니다. 단일-단 펌프는 대기압에서 1.0 × 10⁻² Pa의 최종 진공까지 용기를 비울 수 있는 반면, 2단-단 기계식 펌프는 6.7 × 10⁻² Pa 이상까지 비울 수 있습니다.
펌핑 속도는 회전 날개 펌프가 정격 속도로 작동할 때 단위 시간당 배출할 수 있는 가스의 양을 나타냅니다. 다음 공식을 사용하여 계산할 수 있습니다.
Sth=2nVs=2nfsL
fs는-흡기 끝 캐비티의 단면적을 나타내고, L은 캐비티 길이를 나타내고, 계수는 로터 회전당 두 개의 배기 과정이 있음을 나타내고, Vs는 로터가 수평일 때 흡입이 완료되고 캐비티 부피가 최대가 되는 위치(회전 속도 n)를 나타냅니다.
기계식 펌프의 배기 효과는 모터 속도 및 벨트 장력과도 관련이 있습니다. 모터 벨트가 느슨하고 모터 속도가 느리면 기계식 펌프의 배기 효과가 떨어집니다. 그러므로 빈번한 유지보수와 점검이 필요합니다. 기계식 펌프 오일의 밀봉 효과도 자주 점검해야 합니다. 오일이 너무 낮으면 원하는 밀봉 효과를 얻을 수 없으며 펌프 내부에 공기가 누출됩니다. 오일 함량이 너무 높으면 흡기 포트를 막아 흡기 및 배기를 방해합니다. 일반적으로 오일 레벨은 선보다 0.5cm 아래에 있어야 합니다.
