박막 소재는 디스플레이 유리, 광학 유리 등 기판 소재 표면에 성장하는 소재로, 일반적으로 금속, 비{0}}금속, 합금, 화합물 등의 코팅 소재로 구성된다. 반사 방지, 흡수, 차단, 스펙트럼 분산, 반사 및 필터링, 간섭, 보호, 방수 및 얼룩 방지, 정전기 방지 특성, 전도성, 투자율, 절연, 내마모성, 고온 저항, 내식성, 산화 저항, 방사선 보호, 장식 및 복합 기능을 포함한 다양한 특성을 보유합니다. 제품 품질을 크게 향상시키고 환경 보호 및 에너지 절약을 달성하며 제품 수명을 연장하고 원래 성능을 향상시킬 수 있습니다. 현재 주류 박막 재료 준비 기술에는 주로 두 가지 주요 시스템이 포함됩니다.
물리적 기상 증착(PVD)및 화학 기상 증착(CVD).
1. 스퍼터링 코팅 기술 이온 소스를 이용하여 이온을 생성하고 이를 진공 중에서 가속 및 수렴하여 고체 표면에 충격을 가하는 고속- 이온 빔을 형성하는 기술입니다. 이온은 고체 표면의 원자와 운동 에너지를 교환하여 고체 원자가 기판에서 분리되어 기판 표면에 침전되도록 합니다. 박막을 증착하는 원료로 사용되는 충격을 받은 고체를 스퍼터링 타겟이라고 합니다. 타겟은 주로 타겟 블랭크와 백플레이트(백 튜브)로 구성됩니다. 타겟 블랭크는 이온 빔에 의해 충격을 받는 핵심 구성 요소로서 표면 원자가 스퍼터링되어 필름으로 증착됩니다. 백플레이트는 고정 및 지지 기능을 제공하며 전기 및 열 전도성도 뛰어납니다. 이 기술은 우수한 필름 균일성, 제어 가능한 두께, 뛰어난 반복성과 같은 장점을 제공합니다. 제조된 필름은 순도가 높고 밀도가 강하며 접착력이 우수하여 박막 제조의 주류 기술 중 하나이며 고{7}}부가가치-스퍼터링 타겟에 대한 수요의 지속적인 성장을 주도하고 있습니다.
2. 진공증착코팅 기술 진공환경에서 증발원을 이용하여 소재를 가열하여 기화시킨 후 기판 표면에 증착시켜 박막을 형성하는 기술입니다. 증발된 물질을 증발 물질이라고 하며 시스템은 진공 챔버, 증발 소스 및 기판 어셈블리의 세 가지 주요 모듈로 구성됩니다. 증발 소스는 증발 물질을 보유하고 필요한 증기압을 달성하기에 충분한 열을 제공해야 합니다. 이 기술은 작동이 간편하고 필름 형성이 빠른 것이 특징이며 주로 작은 크기의 기판 재료 코팅에 적합합니다.-
이 두 가지 유형의 PVD 기술은 함께 현대 기능성 박막 준비를 위한 기술 기반을 형성합니다. 재료과학과 진공공학의 긴밀한 통합을 통해 광전자공학, 신에너지, 반도체 등 첨단 분야에서 기술 혁신을 지속적으로 추진하고 있습니다.{1}}
