
많은 기업에서는 품질을 보장하기 위해 진공 코팅 기계를 사용한 후 필름 층 측정을 고려합니다.
그러나 필름층이 매우 얇기 때문에 측정이 신비한 과정처럼 느껴집니다.
오늘 Puyuan Vacuum은 코팅층을 측정하고 모니터링하는 방법을 소개하여 모든 사람에게 도움이 되기를 바랍니다.
진공 코팅기에서 코팅 공정을 제어하는 가장 직접적인 방법은 QCM(Quartz Crystal Microbalance) 방법입니다.
이 장비는 증발원을 직접 구동할 수 있으며 PID 제어를 통해 배플을 주기적으로 구동하여 증발 속도를 유지할 수 있습니다.
장비가 시스템 제어 소프트웨어에 연결되면 전체 코팅 프로세스를 제어할 수 있습니다. 그러나 QCM의 정확도는 광학적 두께보다는 코팅의 품질을 모니터링하기 때문에 부분적으로 제한됩니다.
또한 QCM은 낮은 온도에서는 매우 안정적이지만 온도 상승에는 매우 민감합니다. 장기간 가열하는 동안 센서가 민감한 영역으로 떨어지는 것을 방지하기가 어려워 필름 층에 심각한 오류가 발생합니다.
광학 모니터링은 필름 두께를 보다 정확하게 제어할 수 있기 때문에(올바르게 사용되는 경우) 고정밀 코팅에 선호되는 모니터링 방법입니다.{0}} 정확도 향상은 여러 요인에서 비롯되지만 가장 근본적인 이유는 광학 두께를 모니터링하는 것입니다.
OPTIMALSWA-I-05 단일 파장 광학 모니터링 시스템은 개발된 고급 광학 모니터링 소프트웨어와 결합된 간접 측정 및 제어를 사용합니다.
이는 필름 두께 변화에 대한 광학 반응의 감도를 효과적으로 향상시켜 궁극적인 오류를 줄이고 피드백 또는 전송 모드 선택과 광범위한 모니터링 파장을 제공합니다. 불규칙한 필름을 포함하여 다양한 두께의 코팅을 모니터링하는 데 특히 적합합니다.
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