운영 원리 :
Magnetron Sputtering은 널리 사용되는 물리 증기 증착 기술입니다. 그것의 핵심 장점은 상대적으로 낮은 온도에서 고속으로 균일하고 밀도가 높고 고도로 접착 성 박막을 퇴적하는 능력과 광범위한 표적 재료 선택 (금속, 합금, 세라믹, 폴리머 등)을 퇴적시키는 능력에있다.
응용 프로그램 :
반도체 및 미세 전자
광학 코팅
평면 패널 디스플레이
장식 코팅
도구 및 곰팡이를위한 매우 단단한 내마모 코팅
특징:
높은 증착 속도
저온 증착
좋은 영화 품질
재료 보편성
낮은 작업 공기 압력
우수한 프로세스 제어 능력
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