멀티 아크 코팅 기계

정보

멀티 아크 코팅 기계는 진공 아크 배출의 원리를 사용하여 진공 환경에서 캐소드 표적 (소스 재료)을 증발시키고 이온화하여 공작물 표면에 퇴적하여 박막을 형성하는 장비입니다.

제품 분류

진공 코팅 기계

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운영 원리 :

응용 프로그램 :

높은 이온화 속도 :

우수한 필름베이스 본딩, 탁월한 조밀 한 구조 및 우수한 성능.

고 에너지 이온 폭격 :

밀도가 높고 강하게 결합 된 필름을 형성하고 더 낮은 온도에서 퇴적 할 수 있습니다.

높은 증착 률 :

다른 PVD 기술과 비교하여, 다중 ARC 도금은 일반적으로 더 높은 증착 속도를 갖는다.

하드 코팅에 적합 :

특히 다양한 금속 질화물, 탄화물, 산화물 및 기타 슈퍼 하드, 내마모 및 부식성 코팅 (예 : Tin, CRN, Tialn, DLC 등)을 섭취하는 데 능숙하며 도구, 곰팡이, 내마모, 장식용 도금 및 기타 분야에 널리 사용됩니다.

멀티 아크 코팅 기계
모델	HL-600	HL-800 시리즈	HL-1000 시리즈	HL-1200	HL-1400	HL-1500	HL-1600 시리즈
챔버 크기	φ600 × 800mm	φ800 × 1000mm	φ1000 × 1200mm	φ1200 × 1400mm	φ1400 × 1600mm	φ1500 × 1500mm	φ1600 × 1800mm
진공 장치	KT400 확산 펌프 장치	KT500 확산 펌프 장치	KT500 확산 펌프 장치	KT630 확산 펌프 장치	이중 KT630 확산 펌프 장치	이중 KT630 확산 펌프 장치	이중 KT630 확산 펌프 장치
코팅 시스템	전용 멀티 아크 코팅 전원 공급 장치 + 다기능 트윈 자기 링 아크 대상 + 원통형 아크 대상 (선택 사항)
보조 코팅 시스템	저온 이온 보조원 (공구 도금을 제외하고 가열 시스템 없음)
인플레이션 시스템	질량 유량계
제어 방법	수동 또는 완전 자동
펌핑 속도	5 × 10-3PA ﹤ 15 분
궁극적 인 진공	5x10-4PA
주목	위의 장비 매개 변수는 참조 용이며 고객의 실제 프로세스 요구 사항에 따라 설계 및 사용자 정의됩니다.